晶圓零破損、良率99.9%!富唯復(fù)合機(jī)器人重塑半導(dǎo)體智造新標(biāo)準(zhǔn)
發(fā)布日期:
2025-07-10

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±0.05mm精度——在千級(jí)潔凈的半導(dǎo)體車間里,富唯智能復(fù)合機(jī)器人正以“手腳眼腦”一體化技術(shù),解決精密制造的終極痛點(diǎn)。


 晶圓零破損、良率99.9%!富唯復(fù)合機(jī)器人重塑半導(dǎo)體智造新標(biāo)準(zhǔn)


半導(dǎo)體制造被譽(yù)為工業(yè)領(lǐng)域的“珠穆朗瑪峰”:晶圓易碎怕污染、工序銜接需零誤差、潔凈環(huán)境容不得一粒微塵。傳統(tǒng)人工搬運(yùn)導(dǎo)致良率損失超5%、破片率居高不下,而剛性軌道AGV又難以適應(yīng)高頻換線需求。富唯智能復(fù)合機(jī)器人深度融合AMR移動(dòng)底盤+協(xié)作機(jī)械臂+3D視覺系統(tǒng),以三大技術(shù)革新破局行業(yè)困境:

 

一、破題:半導(dǎo)體上下料的“不可能三角”

1.精度與潔凈的死結(jié)
晶圓抓取需±0.05mm精度(相當(dāng)于頭發(fā)絲的1/150),而人工操作受生理限制誤差達(dá)±0.3mm,靜電釋放更可能直接擊穿芯片;


晶圓零破損、良率99.9%!富唯復(fù)合機(jī)器人重塑半導(dǎo)體智造新標(biāo)準(zhǔn)

 

2.剛性與柔性的矛盾
傳統(tǒng)軌道AGV需停產(chǎn)數(shù)周改造車間,無(wú)法適應(yīng)半導(dǎo)體“小批量快迭代”特性;

效率與安全的博弈
24小時(shí)連續(xù)作業(yè)下,工人疲勞操作致東莞某廠年損晶圓超千片,損失逾百萬(wàn)。


二、富唯方案:三大技術(shù)重構(gòu)制造邏輯

“手眼協(xié)同”攻克微米級(jí)操作

1.視覺精度雙引擎:2D視覺定位精度±0.05mm(晶圓抓取),3D視覺補(bǔ)償±0.2mm(復(fù)雜姿態(tài)調(diào)整),通過深度學(xué)習(xí)算法毫秒級(jí)識(shí)別偏移;


晶圓零破損、良率99.9%!富唯復(fù)合機(jī)器人重塑半導(dǎo)體智造新標(biāo)準(zhǔn)


2.力控防撞黑科技:末端六維力傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)壓力,遇突發(fā)碰撞0.1秒緊急制動(dòng),晶圓破片率趨近于零。